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全自动晶圆排片装备

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全自动晶圆排片装备

WTP全自动晶圆排片装备是一款将Wafer上的单颗芯粒,,从蓝膜到排到粘性基板上的分选排片装备。

应用场景::单颗Die/Chip从蓝膜到载板的分选排片工艺。

产品咨询电话::13811928592(毛总)
产品咨询邮箱::jian.mao@incubecn.com
  • 来料兼容12寸、8寸Disco铁环

  • 支持最大基板尺寸::330mm*334mm

  • 挑拣晶粒尺寸规模0.15*0.15mm~6*6mm,,T≤800μm

  • UPH 27K(0.2*0.2mm晶粒,,排片间距≤1.2mm)

  • 排片精度X、Y≦±15um & 角度≦±1°

  • 支持正面、反面AOI检测,,阻止不良晶;;烊

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